[摘要]本产品应用广泛,适用于二氧化硅的化学气相沉积、干法氧化、等离子刻蚀等多种工业领域。同时,高纯氧气也是维持生命所必需的气体之一,其用途也包括助燃和氧化相关实验等。
本产品应用广泛,适用于二氧化硅的化学气相沉积、干法氧化、等离子刻蚀等多种工业领域。同时,高纯氧气也是维持生命所必需的气体之一,其用途也包括助燃和氧化相关实验等。
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