[摘要]铈基抛光液抛光过程中的注意事项;抛光过程中,铈基抛光液中研磨颗粒的类型、形状、大小、浓度、化学成分、pH值、粘度、流速和流量都会对去除速度产生影响。
铈基抛光液抛光过程中的注意事项
抛光过程中,铈基抛光液中研磨颗粒的类型、形状、大小、浓度、化学成分、pH值、粘度、流速和流量都会对去除速度产生影响。
抛光不同材料的工件时,铈基抛光液的成分和pH值也不同。pH值影响工件的表面质量和去除率,表现在磨料的分解和溶解度、抛光表面的蚀刻和氧化膜的形成、县浮力(胶体稳定性)等方面。因此,有必要严格控制抛光液的pH值。
抛光氧化物时,铈基抛光液一般选用Si:作为磨料,PH值控制在10以上;抛光金属时,抛光液通常是酸性的,以确保PH值较小,从而保持极高的工件去除率。
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